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電子行業超純水設備

型號:YB-EDI-003

產水量:(可根據用戶要求而定)

適用范圍:

電子行業超純水設備是用于制備電阻率≥18.2 MΩ·cm(25℃)、雜質含量極低(如TOC≤5 ppb、顆粒≤1個/ml)的高純度水的關鍵系統,廣泛應用于半導體、集成電路、液晶顯示、光伏電池等電子元器件的生產過程中。
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產品介紹

  電子行業超純水設備是用于制備電阻率≥18.2 MΩ·cm(25℃)、雜質含量極低(如TOC≤5 ppb、顆粒≤1個/ml)的高純度水的關鍵系統,廣泛應用于半導體、集成電路、液晶顯示、光伏電池等電子元器件的生產過程中。

工藝設計

  預處理:通過多介質過濾器去除水中的懸浮固體、微粒等;利用活性炭過濾器吸附水中的有機物、余氯等;鈉離子軟化器降低水的硬度;精密過濾器進一步截留細小顆粒,為后續處理提供合格的進水。

  反滲透:在壓力作用下,使水通過半透膜,而溶解的鹽類、有機物和微生物等雜質被截留,從而去除水中的大部分離子和有機物,降低水的含鹽量和雜質含量。

  電去離子(EDI):運用電場的作用,使水中離子有序遷移并被去除,進一步提高水的純度,連續穩定地制備超純水,無需酸堿再生。

  終端處理:通常包括紫外線殺菌和臭氧處理等,用于殺滅水中的微生物,保證超純水的生物安全性,還可配備拋光混床等設備,對水質進行進一步精制,以滿足電子行業對超純水的極高要求。

 

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設備特點

  自動化程度高:配備液位控制系統、高低壓水泵壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表和 PLC 可編程控制器,實現無人值守操作,降低人工成本,提高設備運行的穩定性和可靠性。

  水質穩定:采用多種先進的水處理技術和工藝,能夠有效去除水中的各種雜質和離子,使出水水質穩定達到電子行業所需的高純度標準。

  運行成本低:一些設備采用了節能型的設計和技術,如超低壓滲透過濾技術、新型電除鹽技術等,可降低能耗,同時減少了酸堿等化學藥劑的使用,降低了運行成本和對環境的污染。

  維護簡便:設備結構設計緊湊,零部件標準化程度高,日常保養、維修等操作簡單方便,且設備故障幾率較小,可減少設備停機時間,提高生產效率。

  材質優質:在工藝選材方面,通常采用高品質的材料,如全不銹鋼管路、超純水專用管道等,避免設備材質對水質造成污染,保證出水水質

 

技術參數

電阻率:≥18.2 MΩ·cm(25℃)

TOC(總有機碳):≤1-5 ppb

顆粒物:≤1個/ml(粒徑≥0.1μm)

微生物:≤0.1 CFU/ml

離子含量:Na?、Cl?等≤0.01 ppb

溶解氧:≤1 ppb

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